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::: 掃描式電子顯微鏡 - 教育百科

詞條名稱:掃描式電子顯微鏡

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國家教育研究院辭書
基本資料
英文: Scanning Electron Microscopy
日期: 2002年2月
出處: 環境科學大辭典
辭書內容
名詞解釋:
  主要用於觀察固體表面次微米尺度之物理結構,其構造如下圖所示。掃描式電子顯微鏡所產生之訊號為電子束(非一般光譜法中之光束)被分析物激發所致。電子束係由可變高壓電源供應器控制之電子槍所產生,電子束經由磁場凝集鏡及磁場接物鏡系統後,電子束被聚集在樣品上5至20nm之一小區域。在磁場接物鏡系統中有兩對線圈,其中一對控制電子束在X方向之偏移,一對控制電子束在Y方向之偏移,控制線圈即可進行掃描之動作。電子束撞擊樣品後,散射之電子、新產生之電子等,則以閃爍偵測器(scintillation detector)偵測,所偵測之訊號經轉換放大後顯示於陰極射線螢光幕(CRT)上。掃描式電子顯微鏡除可直接從CRT上控制對比度、亮度、影像旋轉、局部放大等功能外,並有自動對焦、動態、變焦、自動照相、影像處理及電腦套色等裝置。
資料來源: 國家教育研究院_掃描式電子顯微鏡
授權資訊: 資料採「 創用CC-姓名標示- 禁止改作 臺灣3.0版授權條款」釋出