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光刻 - 教育百科
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國家教育研究院辭書
基本資料
| 英文： | photolithography |
| 日期： | 2003年6月 |
| 出處： | 資訊與通信術語辭典 |
辭書內容
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名詞解釋： 為一種平版印刷技術，用以轉移電路設計圖和晶片上的電子元件到晶圓上。晶圓上先塗有對光敏感的膜（抗光蝕），被透過光罩上的光照射到的部份會變硬，以利後續處理。 |
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| 資料來源： | 國家教育研究院_光刻 |
| 授權資訊： | 資料採「 創用CC-姓名標示- 禁止改作 臺灣3.0版授權條款」釋出 |
貓頭鷹博士