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::: 化學蒸汽沉積法 - 教育百科
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汽
沉
積
法
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國家教育研究院辭書
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國家教育研究院辭書
基本資料
英文：
chemical vapor deposition method
日期：
2003年6月
出處：
資訊與通信術語辭典
辭書內容
名詞解釋：
指以沉積方式生長晶片的方法，以鈍氣（如氦氣、氬氣）為載體，將汽化的金屬氯化物流過單晶基片時，金屬可在其上沉積。本法的優點是厚度均勻但生長的速度慢。
資料來源：
國家教育研究院_化學蒸汽沉積法
授權資訊：
資料採「 創用CC-姓名標示- 禁止改作 臺灣3.0版授權條款」釋出
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