:::
抗光蝕 - 教育百科
| 抗 | |
| 光 | |
| 蝕 |
國家教育研究院辭書
基本資料
| 英文: | photoresist |
| 日期: | 2003年6月 |
| 出處: | 資訊與通信術語辭典 |
辭書內容
|
名詞解釋: 指在光刻時所使用的膜(軟片),用以暫時性的保持電路或晶片圖型於晶圓上。被透過光罩上的光照射到的部份會變硬且具抗強酸,未被光照射到晶圓部分會被強酸洗除而完成電路。 |
|
| 資料來源: | 國家教育研究院_抗光蝕 |
| 授權資訊: | 資料採「 創用CC-姓名標示- 禁止改作 臺灣3.0版授權條款」釋出 |
貓頭鷹博士
貓頭鷹博士