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微米     
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量詞，表示長度的單位，等於一米的百萬分之一。
次微米計畫     
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次微米計畫指開發小於一微米的半導體製作技術的計畫。民國七十九年，為建立完整之半導體產業，引導產業進入次微米時代。經濟部委託工研院電子所籌建次微米實驗室。正式展開為期五年（西元一九九○至一九九五年）的次微米研發工作如下：(1)建立一座八吋晶圓，Class 0.1(0.3微米）的世界一流水準的實驗室，以提供開發次微米製程技術。(2)在一九九五年以前使中華民國具備：a.0.7/0.5微米整合製程技術。b.0.35微米製程模組技術。(3)建立超潔淨技術及八吋晶圓量產型技術。(4)建立中華民國極大型積體電路（ULSI）研究發展能力，並對世界IC研究發展的領域有所貢獻。
直徑小於或等於10微米(μm)之微粒     
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　　微粒物質中直徑小於或等於10微米(1μm=10-6m)之微粒。不同粒徑粒狀物質之物理性質（如光學、電磁學等）和化學成分有很大之不同，因此粒狀物質之特性隨其粒徑不同而異。粒徑小於或等於10微米之微粒較易進入人體呼吸系統致造成呼吸系統健康影響。一般來說，城市中排入大氣之污染物，大部分集中在小粒徑之粒子，某些有害物質，如：鎘、鉛、鎳及苯等致癌物集中在粒徑為0.1～2.5μm之顆粒中；天然來源之粒子（包括揚塵、風砂等）則多數為大於2.5μm之顆粒。因此，根據大氣中粒狀物之粒徑分布可判別其污染來源與對人體健康之危害。
微米（百萬分之一米）     
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一種長度單位，等於百萬分之一米。
奈米技術；毫微米技術     
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指利用單個原子和分子，製造出極微小的器件。如目前先進國家熱中研究的奈米碳管直徑只有1.4奈米（奈米為長度計量單位，1奈米為10－9m），僅為高技術電腦晶片上最細電路線寬的百分之一。5萬個奈米碳管併排在一起，寬度只有一根頭髮般粗；其質量是相同體積鋼的六分之一，強度卻是鋼的六倍。奈米技術極有可能迅速改變物質產品的生產方式，並導致社會的變革。
毫微米     
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微米（百萬分之一米）；測微計；千分尺     
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(一)為長度單位，表百萬分之一米。參【公制系統】（metric system）。
(二)指可以量測甚為精細之物件之儀表或儀器。
次微米元件     
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積體電路的通道愈窄，容納電晶體愈多，如果通道小於一微米通道，稱為「次微米元件」。微米係長度單位，為一米的一百萬分之一。次微米指小於一微米。
國科會毫微米元件實驗室     
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行政院國家科學委員會所屬國家實驗室之一。英文名稱為National Nano Device Laboratories，簡稱NDL。座落於新竹國立交通大學校園內，緊臨著科學園區。民國七十七年行政院核准了「國家毫微米元件實驗室」的五年發展計畫，民國八十一年完成了Clean-room的建造，並隨即開放提供學術界進行半導體材料及元件的研發。本實驗室的主要宗旨是以先進的技術設備，支援全國大學院校進行半導體元件材料的研究，培育學術界及產業界所需之尖端人才，並結合學術與產業界從事毫微米元件關鍵性技術之研究發展，提升國內電子領域之研究水準，推動尖端的半導體科技，以增加我國積體電路工業之競爭力。
微     
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細小、不明顯的。如：「細微」、「微小」、「微生物」、「見微知著」。
稍稍、輕、略。如：「稍微」、「微笑」。
衰弱、勢力小。如：「衰微」、「式微」。
精深。如：「微妙」、「精微」。
卑賤。如：「卑微」、「人微言輕」。