:::
掃描式電子顯微鏡 - 教育百科
| 掃 | |
| 描 | |
| 式 | |
| 電 | |
| 子 | |
| 顯 | |
| 微 | |
| 鏡 |
國家教育研究院辭書
基本資料
| 英文： | Scanning Electron Microscopy |
| 日期： | 2002年2月 |
| 出處： | 環境科學大辭典 |
辭書內容
|
名詞解釋： 主要用於觀察固體表面次微米尺度之物理結構，其構造如下圖所示。掃描式電子顯微鏡所產生之訊號為電子束（非一般光譜法中之光束）被分析物激發所致。電子束係由可變高壓電源供應器控制之電子槍所產生，電子束經由磁場凝集鏡及磁場接物鏡系統後，電子束被聚集在樣品上5至20nm之一小區域。在磁場接物鏡系統中有兩對線圈，其中一對控制電子束在X方向之偏移，一對控制電子束在Y方向之偏移，控制線圈即可進行掃描之動作。電子束撞擊樣品後，散射之電子、新產生之電子等，則以閃爍偵測器(scintillation detector)偵測，所偵測之訊號經轉換放大後顯示於陰極射線螢光幕(CRT)上。掃描式電子顯微鏡除可直接從CRT上控制對比度、亮度、影像旋轉、局部放大等功能外，並有自動對焦、動態、變焦、自動照相、影像處理及電腦套色等裝置。 |
|
| 資料來源： | 國家教育研究院_掃描式電子顯微鏡 |
| 授權資訊： | 資料採「 創用CC-姓名標示- 禁止改作 臺灣3.0版授權條款」釋出 |